無塵車間工程是為了實現空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入到潔凈室,在無塵室兩側安裝隔間墻板或高架地板回風。氣流因非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于無塵生產車間等級為1000-100000級的。
優點:無塵車間工程構造簡單、系統建造成本也較低,因此在潔凈室的擴充會比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,來提高潔凈室等級。
缺點:
無塵車間工程的亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再啟動,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。